蒸汽擴(kuò)散泵和噴射泵的使用
發(fā)布時(shí)間：2017年04月21日 09:47 閱讀：5442
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澤德
蒸汽擴(kuò)散泵和噴射泵，不論單獨(dú)使用，還是相互組合，或者與大量用于真空冶金過程或試驗(yàn)設(shè)備的其他類型的泵組合使用，工作壓強(qiáng)的范圍和作業(yè)的規(guī)模，是選用真空泵的重要標(biāo)準(zhǔn)。
蒸汽泵可用于抽空所有型式的熔煉、澆注、燒結(jié)、釬焊、熱處理或脫氣的真空爐。亦可用于某些鋼液的脫氣設(shè)備，以及金屬精煉、晶體拉制、薄膜蒸發(fā)沉積和電子束焊接等設(shè)備中。還用于氣體分析裝置的抽氣系統(tǒng)。
一種大型的單一設(shè)備，可采用同一泵的多路抽氣系統(tǒng)，但有時(shí)蒸汽噴射泵必須與擴(kuò)散泵并聯(lián)，以保證在一個(gè)很廣的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，有高的抽氣速度，或者將噴射泵安裝在擴(kuò)散泵和機(jī)械前級(jí)泵之間，以提高氣體進(jìn)入機(jī)械泵之前的壓縮程度。類似將蒸汽泵與羅茨泵組合起來的混合系統(tǒng)已有使用。
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